Structure and dielectric characteristics of SrTiO3(111)/Al2O3(001) films fabricated by RF sputtering [Структура и диэлектрические характеристики пленок SrTiO3(111)/Al2O3(001), полученных высокочастотным распылением]
Павленко А.В., Стрюков Д.В., Жидель К.М., Матяш Я.Ю., Шишкина П.А., Чумак М.С. Структура и диэлектрические характеристики пленок SrTiO3(111)/Al2O3(001), полученных высокочастотным распылением // Журнал технической физики. — 2024. — Т. 94, Вып. 10. — С. 1695–1700. [ПЕРЕВОДНАЯ ВЕРСИЯ: Pavlenko A.V., Stryukov D.V., Zhidel K.M., Matyash Ya.Yu., Shishkina P.A., Chumak M.S. Structure and dielectric characteristics of SrTiO3(111)/Al2O3(001) films fabricated by RF sputtering // Technical Physics. — 2024. — Vol. 69, No. 10. — P. 1569–1574.] — DOI: 10.61011/TP.2024.10.59362.209-24. — Индексация: Web of Science Core Collection, квартиль категории JCR — Q4; УБС — 2 (Рег. № НИОКТР 122020100294-9).
Сотрудник
Количество авторов
6
Ссылка на публикацию в сети интернет
https://journals.ioffe.ru/articles/59362
Год
2024

