№ 2011617211 Программа количественной и качественной оценки спектра газоразрядной среды в камере в процессе напыления плёнок (Спектр-Разряд).
Авторы: Мащенко А.И., Михайлов Н.Ю., Толмачёв Г.Н..
Дата регистрации: 15.09.11 г.
Патентообладатель: ЮНЦ РАН
Программа для ЭВМ
