Быстрое меню


Русскоязычная часть:

Федеральное государственное бюджетное учреждение науки
«Федеральный исследовательский центр Южный научный центр Российской академии наук»
(ЮНЦ РАН)
Инновации


№ 2011611977 Алгоритм расчета глубинного профиля оптических констант для текущего (in-situ) контроля приготовления планарной структуры (ZDOptics).

№ 2011611977 Алгоритм расчета глубинного профиля оптических констант для текущего (in-situ) контроля приготовления планарной структуры (ZDOptics).

Алгоритм расчета глубинного профиля оптических констант для текущего (in-situ) контроля приготовления планарной структуры (ZDOptics).

Ковтун А.П.

Свидетельство о государственной регистрации программ для ЭВМ N 2011611977. 04.03.2011.