№ 2011617211 Программа количественной и качественной оценки спектра газоразрядной среды в камере в процессе напыления плёнок (Спектр-Разряд)

Мащенко А.И., Михайлов Н.Ю., Толмачёв Г.Н.. 15.09.11 г. ЮНЦ РАН

Год

№ 2011617211 Программа количественной и качественной оценки спектра газоразрядной среды в камере в процессе напыления плёнок (Спектр-Разряд).

Авторы: Мащенко А.И., Михайлов Н.Ю., Толмачёв Г.Н..

Дата регистрации: 15.09.11 г.

Патентообладатель: ЮНЦ РАН

Программа для ЭВМ