№ 143793 Мишень для магнетронного напыления металлических сплавов

Полезная модель
Мишень для магнетронного напыления металлических сплавов
Авторы: Барышев М.Г., Джимак С.С., Ломакина Л.В., Фролов В.Ю.
№ 143793 30.06.2014 г. ЮНЦ Р

МИШЕНЬ ДЛЯ МАГНЕТРОННОГО НАПЫЛЕНИЯ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ СПЛАВОВ

Автор(ы):
Фролов Владимир Юрьевич (RU),
Барышев Михаил Геннадьевич (RU),
Джимак Степан Сергеевич (RU),
Ломакина Лариса Владимировна (RU),
Болотин Сергей Николаевич (RU),
Петриев Илья Сергеевич (RU),
Пикула Антонина Александровна (RU)

Патентообладатель(и):
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Южный научный центр Российской академии наук (ЮНЦ РАН) (RU),
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Кубанский государственный университет" (ФГБОУ ВПО "КубГУ") (RU)

Мишень для напыления металлических сплавов относится к области металлургии, а именно к напылению сплавов металлов с использованием магнетронного разряда и может быть использовано для напыления сверхтонких и тонких пленок многокомпонентных сплавов металлов при изготовлении покрытий, применяемых в электронике, полупродниковой промышленности, в химической промышленности в водородных топливных элементах и др. Заявляемая мишень позволяет образовывать сплав непосредственно на изделии-подложке, что по сравнению с прототипом прощает процесс напыления многокомпонентных сплавов. Использование в мишени тонких пластин, позволит обеспечить экономию дорогостоящих компонентов сплавов и сделает устройство дешевле, а возможность смены пластин обеспечит его вариативность и универсальность.

Формула полезной модели

1. Мишень для магнетронного напыления металлических сплавов, состоящая из держателя и размещенных в нем слоев напыляемых материалов, отличающаяся тем, что держатель состоит из металлического стакана, выполняющего функцию анода электродного блока магнетрона, изолирующей шайбы и жестко закрепленного на ее торце металлического катода, а слои выполнены в виде геометрически одинаковых пластин чистых металлов - компонентов напыляемого сплава, собранных в пакет и прижатых к стакану посредством кольца, причем число пластин в пакете равно числу компонентов напыляемого сплава, при этом прилегающая к стакану пластина пакета выполнена сплошной, а уложенные на нее пластины выполнены с перфорацией, причем каждая последующая пластина выполнена с перфорацией, размер и размещение которой повторяют размер и размещение перфорации предыдущей пластины, и с дополнительной перфорацией с обеспечением соотношения площадей перфораций пластин к площади сплошной пластины, необходимого для напыления сплава с заданным составом компонентов.

2. Мишень по п.1, отличающаяся тем, что пластины выполнены с перфорацией, расположенной по концентрическим окружностям разных диаметров и отцентрованы при установке.

3. Мишень по п.1, отличающаяся тем, что для фиксации положения пластин и обеспечения их требуемого взаиморасположения в каждой из них имеется выступ, а в стакане - паз.

4. Мишень по п.1, отличающаяся тем, что для удобства при сборке на пластины и на стакан нанесены соответствующие ориентирующие метки.

АН, ФГБОУ ВПО «КубГУ»