№ 2415443 Многоосевой интегральный микромеханический туннельный акселерометр.

Многоосевой интегральный микромеханический туннельный акселерометр. Коноплев Б.Г., Рындин Е.А., Приступчик Н.К.

Патент на изобретение N2415443. 27.03.2011.

МНОГООСЕВОЙ ИНТЕГРАЛЬНЫЙ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ ТУННЕЛЬНЫЙ АКСЕЛЕРОМЕТР

Автор(ы):
Коноплев Борис Георгиевич (RU),
Приступчик Никита Константинович (RU),
Рындин Евгений Адальбертович (RU)

Патентообладатель(и):
Федеральное государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Южный федеральный университет" (ЮФУ) (RU),
Учреждение Российской академии наук Южный научный центр Российской академии наук (RU)

Изобретение относится к области измерительной и микросистемной техники, а более конкретно к интегральным измерительным элементам величин ускорения. Акселерометр содержит подложку 1, преобразователь перемещения 2, инерционную массу 3, активные области подвеса 4 и 9, пассивную область подвеса 5, неподвижный электрод 6, подвижный электрод 7, а также два дополнительных подвеса с активными областями 15, 16 и 23, 24 соответственно и с пассивными областями 17 и 25 соответственно, две дополнительные инерционные массы 13 и 21, два дополнительных неподвижных электрода 11 и 19, два дополнительных подвижных электрода 12 и 20 и два дополнительных туннельных преобразователя перемещения 34 и 35. Преобразователь перемещения 2 представляет собой туннельный контакт, образованный неподвижным электродом 6, который представляет собой цилиндрическую оболочку, жестко закрепленную относительно подложки 1. Изобретение позволяет одновременно измерить три взаимно перпендикулярные составляющие ускорения.

Задачей предлагаемого изобретения является обеспечение высокой чувствительности одновременного измерения трех взаимно перпендикулярных составляющих ускорения, а также интегральная реализация в наномасштабе.