Федеральное государственное бюджетное учреждение науки
«Федеральный исследовательский центр Южный научный центр Российской академии наук» (ЮНЦ РАН)
«Федеральный исследовательский центр Южный научный центр Российской академии наук» (ЮНЦ РАН)
ЮНЦ РАН
№ 2011611977 Алгоритм расчета глубинного профиля оптических констант для текущего (in-situ) контроля приготовления планарной структуры (ZDOptics).
Ковтун А.П. 04.03.2011.
Год
Алгоритм расчета глубинного профиля оптических констант для текущего (in-situ) контроля приготовления планарной структуры (ZDOptics).
Ковтун А.П.
Свидетельство о государственной регистрации программ для ЭВМ N 2011611977. 04.03.2011.
