Учёные ЮНЦ РАН опубликовали результаты исследований в области микроэлектроники

Учёные ЮНЦ РАН опубликовали результаты исследований в области микроэлектроники

Авторы статьи — д.ф.-м.н. Владимир Мухортов, к.ф.-м.н. Сергей Бирюков, к.ф.-м.н. Юрий Головко и к.ф.-м.н. Сергей Масычев.

Старший научный сотрудник ЮНЦ РАН, кандидат физико-математических наук Юрий Головко:
«Объектом исследования являются монокристаллические наноразмерные сегнетоэлектрические пленки многокомпонентного состава (Ba,Sr)TiO3 (толщиной менее 50 нм). Для получения пленок использовалось распыление в вакуумной камере, в которой мишень соответствующего состава бомбардируют быстрыми положительными ионами газа, в результате чего с ее поверхности выбиваются атомы Ba, Sr, Ti и O, которые осаждаются на нагретую до температуры 700 градусов подложку MgO, расположенную параллельно поверхности мишени на расстоянии 10 - 15 мм. На подложке осажденные атомы вступают в химическую реакцию с образованием состава, как и у исходной мишени.
Одним из возможных применений наноразмерных сегнетоэлектрических пленок являются микроконденсаторы. Для их создания на поверхность пленки наносились два электрода, представляющие собой две параллельные полоски из проводящего металла с зазором между ними 1.38 мкм, ширина электрода 2 мкм, длина электрода 310 мкм. Исследования показали, что такие микроконденсаторы имеют высокую температурную стабильность диэлектрических характеристик и малую величину потерь в интервале температур от -50 до +120 градусов, способны хранить рекордное количество энергии в минимальном объёме, что открывает путь к созданию более компактной, быстрой, высокочастотной и энергоэффективной электроники».

Статья «Наноразмерные плёнки титаната бария-стронция для устройств микроэлектроники» 
(Письма в Журнал технической физики. 2025. № 16) размещена по ссылке (https://elibrary.ru/item.asp?id=82832675678)
На фото: авторы статьи.