Спектральный эллипсометр-спектрофотометр «ЭЛЛИПС-1991»

Спектральный диапазон:    350–1000 нм
Спектральное разрешение:    2,5 нм
Диаметр светового пятна на образце:    2,5 мм
Время измерения полного спектра:    20 с
Диапазон углов падения света:    45°, 50°, 55°, 60°, 65°, 70°

Прибор обеспечивает измерения параметров многослойных структур (до 6 слоев), определение оптических параметров и толщин всех слоев в спектральном диапазоне 350–1000 нм; встроенное программное обеспечение позволяет выполнять автоматический подбор параметров образца для аппроксимации измеренных спектров. «ЭЛЛИПС-1991» используется для технологий контроля сверхтонких слоистых структур и подготовки качества поверхности.