Влияние термического отжига наноразмерных пленок SiAlON на их оптические свойства

Ломов А.А., Пащенко А.С., Девицкий О.В., Татаринцев А.А., Захаров Д.М., Мяконьких А.В., Поляков С.Н., Галкин А.С., Денисов В.Н. Влияние термического отжига наноразмерных пленок SiAlON на их оптические свойства // Труды Физико-технологического института им. К.А. Валиева РАН. — 2024. — Т. 32. — С. 231-254.