Influence of argon pressure on the surface morphology of thin InGaAsP/Si films

Devitsky O.V. Influence of Argon Pressure on the Surface Morphology of Thin InGaAsP/Si Films // AIP Conference Proceedings. – 2022. – Vol. 2466. P. 030002.

Сотрудник
Количество авторов
1
Ссылка на публикацию в сети интернет
https://www.doi.org/10.1063/5.0088641
Год
2022
Devitsky O.V. Influence of Argon Pressure on the Surface Morphology of Thin InGaAsP/Si Films // AIP Conference Proceedings. – 2022. – Vol. 2466. P. 030002.