Особенности импульсного лазерного напыления тонких пленок InGaAsN в атмосфере активного фонового газа [Peculiarities of pulsed laser deposition of thin InGaAsN films in an active background gas atmosphere]

Девицкий О.В. Особенности импульсного лазерного напыления тонких пленок InGaAsN в атмосфере активного фонового газа // Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики. — 2022. — № 22(6). — С. 24–29. ПЕРЕВОД: Devitsky O.V. Peculiarities of pulsed laser deposition of thin InGaAsN films in an active background gas atmosphere // Scientific and Technical Journal of Information Technologies, Mechanics and Optics. — 2022. — Vol. 22, No. 6. — P. 1085–1091.