Федеральное государственное бюджетное учреждение науки
«Федеральный исследовательский центр Южный научный центр Российской академии наук»
(ЮНЦ РАН)
ЮНЦ РАН
Применение фторидной плазмы для формирования наноразмерных структур на поверхности кремния
Применение фторидной плазмы для формирования наноразмерных структур на поверхности кремния / В. С. Климин, И. О. Кесслер, Ю. В. Морозова [и др.] // Прикладная физика. – 2022. – № 6. – С. 23-28. – DOI 10.51368/1996-0948-2022-6-23-28. – EDN FIWPBD.
Применение фторидной плазмы для формирования наноразмерных структур на поверхности кремния / В. С. Климин, И. О. Кесслер, Ю. В. Морозова [и др.] // Прикладная физика. – 2022. – № 6. – С. 23-28. – DOI 10.51368/1996-0948-2022-6-23-28. – EDN FIWPBD.