Рост напряженных тонких пленок InGaAsN на подложке GaAs и Si методом импульсного лазерного напыления

Девицкий О.В., Никулин Д.А. Рост напряженных тонких пленок InGaAsN на подложке GaAs и Si методом импульсного лазерного напыления // Физика. Технологии. Инновации. ФТИ-2022. [Электронный ресурс]: тезисы докладов IX Международной молодежной научной конференции, посвященной 100-летию со дня рождения профессора С. П. Распопина, Екатеринбург, 16-20 мая 2022 г. / отв. за вып. А. В. Ищенко. Екатеринбург: УрФУ, 2022. С. 158-160.