Создание наноразмерных сегнетоэлектрических пленок методом емкостного высокочастотного разряда

Алиев И.М., Ковтун А.П., Толмачев Г.Н. Создание наноразмерных сегнетоэлектрических пленок методом емкостного высокочастотного разряда // Итоговая научно-практическая конференция профессорско-преподавательского состава / г. Грозный, (25 февраля 2022 г.). — Грозный: Чеченский государственный университет им. Ахмата Абдулхамидовича Кадырова, 2022. — С. 14–19. – DOI: 10.36684/57-2022-1-14-19.

Количество авторов
3

Ссылка на публикацию в сети интернет
https://www.doi.org/10.36684/57-2022-1-14-19

Год
2022

Алиев И.М., Ковтун А.П., Толмачев Г.Н. Создание наноразмерных сегнетоэлектрических пленок методом емкостного высокочастотного разряда // Итоговая научно-практическая конференция профессорско-преподавательского состава / г. Грозный, (25 февраля 2022 г.). — Грозный: Чеченский государственный университет им. Ахмата Абдулхамидовича Кадырова, 2022. — С. 14–19. – DOI: 10.36684/57-2022-1-14-19.