Влияние термического отжига на морфологию поверхности тонких пленок AlN/Al2O3

Девицкий О.В. Влияние термического отжига на морфологию поверхности тонких пленок AlN/Al2O3 // Материалы XVI Ежегодной молодежной научной конференции Юг России: вызовы времени, открытия, перспективы (г. Ротов-на-Дону, 13-28 апреля 2020 г.). - Ротов-на-Дону: ЮНЦ РАН, 2020. 168 с.

Сотрудник
Количество авторов
1
Ссылка на публикацию в сети интернет
https://www.ssc-ras.ru/ckfinder/userfiles/files/Konf_BK_2020_sbornik.pdf
Год
2020
Девицкий О.В. Влияние термического отжига на морфологию поверхности тонких пленок AlN/Al2O3 // Материалы XVI Ежегодной молодежной научной конференции Юг России: вызовы времени, открытия, перспективы (г. Ротов-на-Дону, 13-28 апреля 2020 г.). - Ротов-на-Дону: ЮНЦ РАН, 2020. 168 с.