Влияния термического отжига на оптические свойства тонких пленок AlN на сапфире

Девицкий О.В., Касьянов И.В., Никулин Д.А.Влияния термического отжига на оптические свойства тонких пленок AlN на сапфире // Сборник научных трудов IX Международной конференции по фотонике и информационной оптике: М.: НИЯУ МИФИ, 2020. – 704 С.

Сотрудник
Количество авторов
3
Ссылка на публикацию в сети интернет
http://fioconf.mephi.ru/files/2019/12/FIO2020-Sbornik.pdf
Год
2020
Девицкий О.В., Касьянов И.В., Никулин Д.А.Влияния термического отжига на оптические свойства тонких пленок AlN на сапфире // Сборник научных трудов IX Международной конференции по фотонике и информационной оптике: М.: НИЯУ МИФИ, 2020. – 704 С.