Влияния термического отжига на оптические свойства тонких пленок AlN на сапфире
Девицкий О.В., Касьянов И.В., Никулин Д.А.Влияния термического отжига на оптические свойства тонких пленок AlN на сапфире // Сборник научных трудов IX Международной конференции по фотонике и информационной оптике: М.: НИЯУ МИФИ, 2020. – 704 С.