Применение фторидной плазмы для формирования наноразмерных структур на поверхности кремния

Применение фторидной плазмы для формирования наноразмерных структур на поверхности кремния / В. С. Климин, И. О. Кесслер, Ю. В. Морозова [и др.] // Прикладная физика. – 2022. – № 6. – С. 23-28. – DOI 10.51368/1996-0948-2022-6-23-28. – EDN FIWPBD.

Сотрудник
Вакулов Захар Евгеньевич
Количество авторов
6
Ссылка на публикацию в сети интернет
https://www.doi.org/10.51368/1996-0948-2022-6-23-28
Год
2022
Применение фторидной плазмы для формирования наноразмерных структур на поверхности кремния / В. С. Климин, И. О. Кесслер, Ю. В. Морозова [и др.] // Прикладная физика. – 2022. – № 6. – С. 23-28. – DOI 10.51368/1996-0948-2022-6-23-28. – EDN FIWPBD.